MODEL 5822i 

5822i 離子風(fēng)機的精巧設(shè)計是配合自動化制程設(shè)備內(nèi)緊密的空間條件，和嚴格的靜電防控要 求，尤其適用于硬盤制造和半導(dǎo)體后段封測工業(yè)。它能維持 <±3V 的離子平衡，又可接連外置回饋 系統(tǒng)以達至 <±1V 的 效能。內(nèi)置的離子平衡自動修正系統(tǒng)，能確保目標(biāo)對象在精準控制中，減少維 修次數(shù)和降低操作成本。選配的氣流定向器，無須更多的空間，也能把精準平衡的離子直接吹到目 標(biāo)。

特點

·±3V 或更好的離子平衡(配合選配的外接回饋系統(tǒng)能達至 ±1V)

·設(shè)備監(jiān)控接口和聲響報警

·外置控制盒

·符合潔凈度 IS0 14644-1 Class 4(Fed. Std. 209E)

優(yōu)點

提供的電暈放電基礎(chǔ) ESD 的關(guān)鍵環(huán)境保護。

透過設(shè)備或接口的通知，對產(chǎn)品失誤能作出快速反應(yīng)

容許更彈性的安裝位置，又能維持效能

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適合在高要求的微污染控制環(huán)境使用