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SIMCO思美高進程監控器Novx 系列離子發生器

產品簡介

SIMCO思美高進程監控器Novx 系列離子發生器,在工作站和工藝環境中監測關鍵靜電參數
Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 過程監控系統是一款多用途的基于微處理器的儀器,用于在工作站和過程中監測關鍵的靜電相關參數。

產品型號:Novx Series 7000
更新時間:2025-12-04
廠商性質:經銷商
訪問量:130
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SIMCO思美高進程監控器Novx 系列離子發生器

在工作站和工藝環境中監測關鍵靜電參數

Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 過程監控系統是一款多用途的基于微處理器的儀器,用于在工作站和過程中監測關鍵的靜電相關參數。六個專用通道定制了該儀器用于監測場電壓檢測/離子發生器平衡、ESD事件、人體電壓檢測或接地監控和粒子計數。

  • 智能信號處理

  • 多種傳感器和天線款式

  • 雛菊鏈式;RS-485或以太網輸出

  • ESD事件檢測跟蹤

  • 三種現場電壓監測選項

  • 用戶可編程的報警設定點和自動消息通知

  • 閉-loop控制到工具計算機

  • 插件模塊允許工廠升級
    SIMCO思美高進程監控器Novx 系列離子發生器

Novx 7000系統能夠在前端和后端半導體制造環境中監控關鍵的靜電變量。其多功能傳感能力和工業通信能力使實時監控與過程靜電控制集成成為可能。作為一個用于靜電監測的通用工具,它可以監測靜電放電事件、靜電場、粒子密度、人員和工作站接地,并能夠控制離子發生器的平衡和放電參數,同時在FPD、硬盤驅動器和醫療制造應用中增強監控用途。



規格

現場感知
輸入電壓±15 - ±5000V
輸出電壓0 - ±5.0
準確性±1V 用于 <20V;±5% 用于 >20V
ESD事件檢測CDM / HBM
粒子計數器界面數據采集
身體電壓 檢測
施加電壓<0.5V
準確性±0.5V
接地監測
范圍1-20 歐姆
施加電壓<0.5V
準確性0.5 歐姆
一般
維度2.7英寸寬 x 7英寸高 x 5.5英寸深 (6.9 x 17.8 x 14 厘米)
重量2.5 磅(1.4 公斤)


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